12月28日,北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會盛大開幕。本次大會以“蓄勢起航,煥然一芯”為主題,以高規(guī)格、系列化的學術(shù)會議活動與博覽會的有機聯(lián)動,全面整合行業(yè)資源,追蹤前沿動態(tài),激發(fā)市場創(chuàng)新可行性,積極推動形成集成電路產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動發(fā)展新態(tài)勢,推進產(chǎn)業(yè)聚集化、鏈條化、高端化發(fā)展。

作為與集成電路生產(chǎn)息息相關(guān)的超純水領(lǐng)域科技企業(yè),高頻科技受邀出席并參展。高頻科技總經(jīng)理丘文濤介紹,國產(chǎn)半導體的前行之路正處于爬坡階段,想要快速突破需要建立起成熟的半導體產(chǎn)業(yè)鏈。超純水作為半導體生產(chǎn)中至關(guān)重要的一環(huán),在新的競爭格局之下,不僅對超純水的純度要求更高,水的循環(huán)再生也成為一個新的課題。

領(lǐng)先超純工藝引業(yè)界圍觀

高頻科技作為行業(yè)領(lǐng)先的本土超純工藝技術(shù)企業(yè),專注于芯片、顯示等半導體高端制造業(yè)二十多年,為半導體高端制造等行業(yè)客戶提供領(lǐng)先的超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備。

大會當天,高頻科技通過3D模型向公眾展示了業(yè)界領(lǐng)先的超純水系統(tǒng),該系統(tǒng)融合了物理、化學、光化學、機械、空氣動力學、流體力學等多項學科,嚴格控制水中的顆粒物、陰陽離子、特殊離子、TOC(總有機碳)、微生物、溶解氣體等等,保證產(chǎn)水水質(zhì)接近絕對純度,電導率無限接近18.24MΩ的理論極限值,起純度可達99.9999999999%(PPT級別——萬億分之一),確保半導體工廠超純水體系化生產(chǎn)與回用的安全性、穩(wěn)定性、連續(xù)性。

完善的專家運維服務體系也是高頻科技本次參展的亮點之一,高頻科技依托公司大批自有優(yōu)秀半導體水系統(tǒng)專家的資深經(jīng)驗,創(chuàng)立標準化運維服務專家模型,為半導體工廠量身定制一體化運維服務體系,滿足客戶全周期運維需求,規(guī)范管理、降本增效。此系統(tǒng)將逐步實現(xiàn)專家數(shù)據(jù)化,并配備半導體專用關(guān)鍵工藝耗材及化學藥劑的研發(fā)和應用,通過智能化、數(shù)字化運維讓客戶感到更加省事和舒心。

有業(yè)內(nèi)人士參觀后評論稱,半導體產(chǎn)業(yè)水量消耗大、水質(zhì)要求高、工藝過程長,高頻科技的水系統(tǒng)既能滿足前端生產(chǎn)的需要,還能提升企業(yè)綜合競爭力,體現(xiàn)了系統(tǒng)的整體性與科學性。

綠色水系統(tǒng)實現(xiàn)“零排放”級

高頻科技總經(jīng)理丘文濤指出,當今社會已經(jīng)進入以半導體技術(shù)為核心的信息時代,而引導社會發(fā)展的不僅僅是生產(chǎn)全球最先進的產(chǎn)品,同時也包括在環(huán)保方面打造世界最高水平的綠色經(jīng)營系統(tǒng)。

此前,國家發(fā)改委、生態(tài)環(huán)境部等引發(fā)了《電子器件(半導體芯片)制造業(yè)清潔生產(chǎn)評價指標體系》,指導和推動半導體制造企業(yè)依法實施清潔生產(chǎn),提高資源利用率。同時,全球化趨勢的不可逆使得半導體產(chǎn)業(yè)形成了技術(shù)、產(chǎn)能、成本的全面競爭,構(gòu)建綠色工廠已經(jīng)成為半導體產(chǎn)業(yè)新的課題。

綠色工廠的關(guān)鍵在于構(gòu)建綠色水系統(tǒng),提高企業(yè)水利用率。高頻科技在半導體超純水領(lǐng)域深耕二十余年,積累了豐富的經(jīng)驗,從事前規(guī)劃、科學運維和技術(shù)創(chuàng)新等維度,在工藝端實現(xiàn)技術(shù)突破,在廠務端打造完善的純水系統(tǒng)和廢水系統(tǒng),通過工藝技術(shù)創(chuàng)新、材料產(chǎn)品替代、檢驗偵測替代、運維模式創(chuàng)新等,實現(xiàn)超純水循環(huán)再生提純,幫助半導體工廠節(jié)水且節(jié)能,既確保水質(zhì)程回收率達75%～90%。

丘文濤表示,數(shù)字經(jīng)濟、新基建正成為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要驅(qū)動力,復雜的外部產(chǎn)業(yè)環(huán)境變化也為我國集成電路產(chǎn)業(yè)帶來全鏈突破、加速發(fā)展的歷史性機遇,高頻科技也將積極創(chuàng)新突破,助力中國“芯”發(fā)展。

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